超净间(Clean Room)，也称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给予特别设计的房间。不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定的洁净度、温湿度及压力等性能。 超净间主要作用是控制产品（如硅芯片等）所接触大气的洁净度及温湿度，使用户能在一个良好的环境空间中生产、制造产品，此空间我们称之为「超净间」。